전자동 방식의 고성능 시험 장치
백그라운드 입자 레벨을 Zero 근접을 실현.
일회용 마스크,와이퍼 등 소형시료 1매도
시험이 가능하여 변별력 및 시험비용 대폭 삭감
컴퓨터 제어에 의한 크리닝모드 구비로 챔버의 신속 세정
3개의 입자 샘플구 장착으로 다양한 장치의 동시 연결 가능
특허받은 고유 구조 채용 ( 2010.8 특허등록완료)
사용조건: Class 100 이상 고청정 크린룸
당사 기존 시리즈 대비 낮아진 Background Level
당사 기존 시리즈 대비 보다 큰 부피의 시료 시험 가능
드럼의 양방향 회전으로 시료 말림에 의한 오차 최소화

S-2는 각종 표면 또는 공기 중, 기체 중, 액체 중에 존재하는 이물 및 DUST를 직접적으로 검출. 계수하기 위하여 새롭게 개발되었던 S-1의 업그레이드 모델 입니다. S-2는 이물의 검출과 계수를 위하여 전용으로 개발된 Particle Sampling Film인MicroLabo DD시리즈와 함께 공급됩니다. 이로써 표면, 기체, 액체 등 다양한 영역에 존재하는 이물의 관리가 가능하게 되었습니다. 이물의 형태 확인과 계수를 동시에 할 수 있습니다.

반도체 제조장치용 Parts 입자 검사 / 크리닝 복합 장치
-> Hole 형성 부품 (Shower Head, Cathode 등)
백그라운드 입자 레벨을 Zero 근접을 실현.
가압분사 모드 / 흡입모드 / 조합모드 등 유체 흐름 변경용이
컴퓨터 레시피 적용으로 시료별 조건 설정 및 적용 용이
Auto Loading / Unloading / Nozzle Height 조절
*상기 사양 및 제품 이미지는 개선을 위하여 사전 예고없이 변경될 수 있습니다.