본 설비는 진공 챔버 내에서 Roll to Roll 상태로 Base film위에 DFR(감광성 필름)을 Laminating(합지)하는 시스템입니다. 미세 회로 구현을 위한 주요 공정 설비로써 Plasma System을 장착하여 전처리 효과 및 Film의 부착력을 증진시켰으며, Hot Roller의 정밀한 온도 제어를 통해 Laminating하여 Micro bubble까지 제거 할 수 있는 초 고정밀 시스템입니다.

본 설비는 Curved Glass와 비산방지(Deco) Film을 진공상태에서 Lamination하는 장비로써 Plasma를 이용하여 Glass 표면의 유기 화합물을 없애 접착력을 증대하고, Film과 Glass를 Camera를 이용하여 정확하게 위치 Align 하여 접합하는 고 정밀 Vacuum Lamination 장비 입니다.
* 자동화 구성! 다양한 옵션기능!(Auto Peeler, 열합착) -> 고객맞춤 공정 최적화 실현
* 3D, 4D Glass, PCPMMA(글라스틱) LAMI 공정설비
* 3D LAMI Tool 제작 Solution

* 기판두께 0.035mm 의 얇은 박판의 처리가 가능
* Working beam방식의 기판 이송 System을 적용하여 Chain에 의한 이물발생을 최소화
* 제품의 3면을 고정시켜 Warp page를 최소화
* ±2 ℃ 이내의 온도 관리가 가능
* Clamp spring의 파손유무를 확인 하는 기능 탑재
* Noncontact UV 와 결합 가능